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showashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板SPE真空室主要是配备运输机器人的运输室，由蚀刻室和盒室三个房间组成。真空室材料由A5052制成，A5052对运输室，蚀刻室和盒室都进行了脱脂处理。
产品型号：SPE厂商性质：经销商更新时间：2023-04-11访 问 量：813
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| 品牌 | 其他品牌 | 产地 | 国产 |
|---|
showashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板SPE
showashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板SPE
| 特征 | ||
| 1. | 紧凑型设备 尺寸（1000mmW×1100mmD×1600mmH） | |
| 2. | 单晶圆系统，生产率高，是批量生产的理想选择 | |
| 3. | 加工质量高 | |
| ･ | 单晶圆类型确保高蚀刻均匀性。 | |
| ･ | 背面采用非接触式气冷系统，不会损坏基板背面 | |
| 4. | 采用高真空排气装置 | |
| 5. | 高可维护性 | |
| ･ | 真空室的小型化便于维护 | |
| 6. | 由于设备外形紧凑，安装位置没有限制 | |
| 1. | 设备配置 | ||||||||||
| 真空室主要是配备运输机器人的运输室，由蚀刻室和盒室三个房间组成。 真空室材料由A5052制成，A5052对运输室，蚀刻室和盒室都进行了脱脂处理。 | |||||||||||
| 2. | 排气系统 | ||||||||||
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| 3. | 性能 | ||||||||||
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| 4. | 供电系统 | ||||||||||
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| 5. | 气体引入系统 | ||||||||||
| CF/SF、氦、O2 质量流量控制器 3 | |||||||||||
| 6. | 控制系统 | ||||||||||
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| 7. | 外部尺寸 | ||||||||||
| 设备本体 1000mmW×1100mmD×1600mmH 设备重量 1000Kg | |||||||||||
| 8. | 公用事业 | ||||||||||
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